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探针测试台技术指标
发布时间2017-04-06 浏览次数：1107
| 工作台面 | 370mm*245mm |
| 载物台直径 | 4" |
| 光学参数 | 总放大率：50-100倍；手轮调焦范围：60mm；升降调焦范围：200mm； |
| 旋转台 |
粗调范围：360°；微调范围：±10°；小刻划：1°； |
| 三维探针座 | 探针座X、Y、Z方向调节范围：±3.25mm，分辨率±2μ； 三维探针座在工作台面可任意位置固定，由磁性开关控制； 多可布三维探针座6个； 探针臂伸出长度：60mm； 探针长度：40mm； |
| 探针 | 探针材质硬质合金，针尖曲率半径2μm； |