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电子薄膜应力分布测试仪技术参数
发布时间2019-06-06 浏览次数：842
电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。
| 错位相移技术 |
| 计算机自动条纹处理 |
| 测试过程全自动 |
| 的曲面补偿测试原理 |
| zui大样品尺寸 | ≤100mm (4英寸) |
| 曲率范围 | |R|≥5米 |
| 测试精度 | 5% |
| 单片测量时间 | 3分钟/片 |
| 结果类型 | 面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格 |
| 图形显示功能 | 三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示 |
| 电源 | AC 220V±10%, 50Hz±5% |
| zui大功耗 | 100W |
| 外型尺寸(L×W×H) | 285mm×680mm×450mm |
| 重量 | 36kg |