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| 产品名称： | H7795 四探针电阻率测定仪 |
| 产品型号： | H7795 |
| 品牌： | 70 |
| 产品数量： | |
| 产品单价： | 面议 |
| 日期: | 2023-10-24 |
H7795 四探针电阻率测定仪的详细资料
四探针电阻率测定仪 型号：H7795
数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。
四探针电阻率测定仪 由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了新电子术行设计、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
四探针电阻率测定仪 术 标 ：
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测量范围
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电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 电导率：10-5～105 s/cm； 电阻：10-5～105 Ω； |
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可测晶片直径
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140mmX150mm(配S-2A型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C型测试台)； |
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恒流源
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电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 |
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数字电压表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 显示：四位半红色发光管数字显示；性、超量程自动显示； |
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四探针探头基本标
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间距：1±0.01mm； 针间缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
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四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证) |
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模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
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整机测量大相对误差
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(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
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整机测量标准不确定度
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≤5% |
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计算机通讯接口
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并口，速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量 能，自动选择适合样品测试电流量程； |
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标准使用环境
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温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无频干扰； 无强光直射； |